-
ST.CERA Op maat gemaakte halfgeleiderapparatuur Keramische spankoppen
De cruciale processen in de halfgeleiderindustrie moeten in een cleanroom plaatsvinden, met name voor apparaten die onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm en corrosieve gassen gebruikt moeten worden. Keramiek kan een hoge stabiliteit behouden in een complexe fysische en chemische omgeving.
-
ST.CERA Aangepaste halfgeleiderapparatuur Keramische plaat
De cruciale processen in de halfgeleiderindustrie moeten in een cleanroom plaatsvinden, met name voor apparaten die onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm en corrosieve gassen gebruikt moeten worden. Keramiek kan een hoge stabiliteit behouden in een complexe fysische en chemische omgeving.
-
ST.CERA Aangepaste halfgeleider keramische focusring
De cruciale processen in de halfgeleiderindustrie moeten in een cleanroom plaatsvinden, met name voor apparaten die onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm en corrosieve gassen gebruikt moeten worden. Keramiek kan een hoge stabiliteit behouden in een complexe fysische en chemische omgeving.
-
ST.CERA op maat gemaakte laadarm van 99,5% aluminiumoxidekeramiek
Een keramische eindeffector/handlingarm wordt gemonteerd op een waferhandlingrobot of "eindeffector" en wordt gebruikt om siliciumwafers in of uit cassettes of proceskamers te transporteren.
De voordelen van het gebruik van keramiek zijn onder andere een vermindering van doorbuiging dankzij de hoge buigsterkte, weerstand tegen hoge temperaturen en het voorkomen van metaalverontreiniging en -deeltjes. -
ST.CERA Aangepaste aluminiumoxide keramische eindeffector
ST.CERA biedt ESD-coating en ESD-keramisch materiaal voor eindeffectoren. Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud-isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan een maattolerantie van ±0,001 mm worden bereikt, een oppervlaktegladheid Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃.
-
ST.CERA Aangepaste halfgeleiderkeramische focusring
De keramische reserveonderdelen zijn vervaardigd van zeer zuiver (meer dan 99,5%) aluminiumoxidekeramiek, gevormd door koud isostatisch persen en gesinterd bij hoge temperatuur, waarna ze nauwkeurig bewerkt en gepolijst worden. Dankzij hun slijtvastheid, corrosiebestendigheid, lage thermische uitzetting en isolerende eigenschappen voldoen ze aan alle strenge eisen van halfgeleiderapparatuur.
Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek gedurende lange tijd worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken.
-
ST.CERA Aangepaste precisiebus van aluminiumoxidekeramiek voor halfgeleiders
De keramische reserveonderdelen zijn vervaardigd van zeer zuiver (meer dan 99,5%) aluminiumoxidekeramiek, gevormd door koud isostatisch persen en gesinterd bij hoge temperatuur, waarna ze nauwkeurig bewerkt en gepolijst worden. Dankzij hun slijtvastheid, corrosiebestendigheid, lage thermische uitzetting en isolerende eigenschappen voldoen ze aan alle strenge eisen van halfgeleiderapparatuur.
Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek gedurende lange tijd worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken.
-
ST.CERA Aangepaste vacuüm-eindeffector van aluminiumoxidekeramiek
Dit is een keramische grijparm/handlingarm van het tray-type, die onder vacuümomstandigheden wordt gebruikt.
De keramische eindeffector/handlingarm is "hittebestendiger", "minder buigzaam" en "lichter" in gewicht in vergelijking met de metalen varianten.
Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek gedurende lange tijd worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken.
-
ST.CERA op maat gemaakte keramische buizen en staven van 99,5% aluminiumoxide
Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek gedurende lange tijd worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken.
-
ST.CERA Aangepaste aluminiumoxide keramische eindeffector waferhandling
ST.CERA biedt ESD-coating en ESD-keramisch materiaal voor eindeffectoren/handlingarmen met een ingebouwd hol kanaal. Wij zijn gespecialiseerd in een techniek waarbij een vacuüm luchtkanaal in één stuk materiaal wordt gevormd zonder gebruik te maken van lijm.
Er is geen risico op verontreiniging, ontgassing of deeltjes. De vacuüm-eindeffector/handlingarm van ST.CERA is voorzien van een speciale coatingtechnologie en is elektrisch geïsoleerd. We kunnen ook ESD-keramisch materiaal leveren dat elektrisch geïsoleerd is zonder coating.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken. -
Aluminiumoxide keramische eindeffector halfgeleiderapparatuurcomponenten
Voorkom dat er deeltjes ontstaan door de afgeschuinde of schuine randen en het achteroppervlak van de wafers tijdens het transport of contact met de eindeffector/handlingarm.
Voor de geleiders is een zacht materiaal gebruikt dat de wafer niet beschadigt.
Dankzij de ingebouwde vacuümkanaaltechnologie van ST.CERA, waarbij geen lijm wordt gebruikt, is verdunning mogelijk.
Het is mogelijk om montagegaten te maken en de lengte en breedte van de basis waarop de eindeffector/handlingarm op de robot is gemonteerd, aan te passen.
Montage van sensoren, schroeven en beugels is optioneel verkrijgbaar.
Ontworpen voor gebruik in atmosferische omstandigheden.
-
CNC-bewerking op maat van St.Cera keramische eindeffectoren
ST.CERA biedt een vacuümkeramische eindeffector/handlingarm met een ingebouwd hol kanaal. Wij zijn gespecialiseerd in een techniek waarbij een vacuümluchtkanaal in één stuk materiaal wordt gevormd zonder gebruik te maken van lijm.
Er is geen risico op verontreiniging, ontgassing of deeltjes. De vacuüm-eindeffector/handlingarm van ST.CERA met ingebouwd kanaal is duurzaam en kan bij hoge temperaturen worden gebruikt. Bovendien kunnen onze productiekosten worden verlaagd door onnodige assemblage te elimineren.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken.
