Op maat gemaakte ST.CERA laadarmen van 99,5% aluminiumoxidekeramiek | Fabrikanten en leveranciers van op maat gemaakte laadarmen

ST.CERA Aangepaste laadarm van 99,5% aluminiumoxide keramiek (afbeelding)

ST.CERA op maat gemaakte laadarm van 99,5% aluminiumoxidekeramiek

Korte beschrijving:

Een keramische eindeffector/handlingarm wordt gemonteerd op een waferhandlingrobot of "eindeffector" en wordt gebruikt om siliciumwafers in of uit cassettes of proceskamers te transporteren.
De voordelen van het gebruik van keramiek zijn onder andere een vermindering van doorbuiging dankzij de hoge buigsterkte, weerstand tegen hoge temperaturen en het voorkomen van metaalverontreiniging en -deeltjes.

Stuur ons een e-mail.

Productdetails

Productlabels

Productdetails

Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek gedurende lange tijd worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.

De keramische eindeffector is gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking. Hierdoor kan een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ worden bereikt.

De keramische eindeffector met holte kan dankzij een unieke keramische verbindingstechnologie werken bij een hoge temperatuur van 800℃.

Hieronder staan de kenmerken van aluminiumoxidekeramiek met verschillende zuiverheidsgraden.

productparameters

ST.CERA CO., LTD.

Materiaalgegevensblad

Eigenschappen	Eenheid	Aluminiumoxide (Al2O3)
Eigenschappen	Eenheid	99% Al2O3	99,5% Al2O3	99,8% Al2O3	99,9% Al2O3
Kleur	—	Wit	Ivoor	Ivoor	Ivoor
Dikte	g/cm3	3,88	3,90	3,93	3,95
Waterabsorptie	%	0	0	0	0
Korrelgrootte	μm	2~5	2~5	2~5	2~4
Buigsterkte	MPa	350	360	361	350
Breuktaaiheid	MPa·m1/2	3~4	3~4	3~4	3~4
Vickers-hardheid	GPA	14	15.5	16	16
Young's elasticiteitsmodulus	GPA	370	370	380	390
Thermische geleidbaarheid	W/m·k	28	32	32	34
Thermische uitzettingscoëfficiënt	10-6/℃	7.2	7.2	7.2	7.2
Diëlektrische constante	—	9.5	9.6	9.6	9.9
Diëlektrische verlieshoek	—	0,0001	0,0001	0,0001	0,0001
Diëlektrische sterkte	V/m	15×106	15×106	15×106	15×106
Specifieke weerstand	Ω ·mm2/m	﹥ 1014	﹥ 1014	﹥ 1014	﹥ 1014

Productieproces

Spuitgranulatie → keramisch poeder → Vormen → Sinteren van de matrijs → Grof slijpen → CNC-bewerking → Fijn slijpen → Maatcontrole → Reinigen en verpakken

Essentiële details

Plaats van herkomst: Hunan, China
Materiaal: Aluminiumoxidekeramiek
HS-code: 85471000
Leveringscapaciteit: 100 stuks per maand
Levertijd: 3-4 weken
Verpakking: Golfkartonnen doos, schuim, karton
Overige: Maatwerkservice beschikbaar

Vorig: ST.CERA Aangepaste halfgeleider keramische focusring

Volgende: ST.CERA Aangepaste aluminiumoxide keramische eindeffector