ST.CERA Aangepaste halfgeleiderkeramische focusring
De keramische reserveonderdelen zijn vervaardigd van zeer zuiver (meer dan 99,5%) aluminiumoxidekeramiek, gevormd door koud isostatisch persen en gesinterd bij hoge temperatuur, waarna ze nauwkeurig bewerkt en gepolijst worden. Dankzij hun slijtvastheid, corrosiebestendigheid, lage thermische uitzetting en isolerende eigenschappen voldoen ze aan alle strenge eisen van halfgeleiderapparatuur.
Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek gedurende lange tijd worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm bereiken, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃.
