ST.CERA Aangepaste aluminiumoxide keramische eindeffector waferhandling

Korte beschrijving:

ST.CERA biedt ESD-coating en ESD-keramisch materiaal voor eindeffectoren/handlingarmen met een ingebouwd hol kanaal. Wij zijn gespecialiseerd in een techniek waarbij een vacuüm luchtkanaal in één stuk materiaal wordt gevormd zonder gebruik te maken van lijm.
Er is geen risico op verontreiniging, ontgassing of deeltjes. De vacuüm-eindeffector/handlingarm van ST.CERA is voorzien van een speciale coatingtechnologie en is elektrisch geïsoleerd. We kunnen ook ESD-keramisch materiaal leveren dat elektrisch geïsoleerd is zonder coating.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken.