-
Hoogzuivere aluminiumoxide keramische eindeffector voor wafer-handlingrobots
De eindeffector van St.Cera, vervaardigd uit 99,8% zuiver Al₂O₃, wordt met precisie gefreesd met behulp van geavanceerde 5-assige CNC-slijpmachines. Onze productiemogelijkheden omvatten precisieslijpmachines en CNC-bewerkingscentra, waardoor complexe geometrieën met hoge precisie kunnen worden gerealiseerd. De eindeffector heeft een dun profiel (zo dun als 1,5 mm) met een taps toelopende voorrand voor een soepele waferinvoer. Het materiaal biedt een hoge stijfheid (Youngs modulus 380 GPa), uitstekende slijtvastheid en thermische stabiliteit tot 800 °C. Elke eenheid wordt nauwkeurig geslepen om een vlakheid van 0,003 mm, een paralleliteit van 0,002 mm en een oppervlakteafwerking van Ra0,1 te bereiken, wat consistent wafercontact en een deeltjesvrije werking in halfgeleiderproductieomgevingen garandeert. Verkrijgbaar in lengtes van 150 mm tot 450 mm, met aangepaste tipgeometrieën (randgrip, Bernoulli, vlak) en montageflenzen voor OEM-robots. Mogelijke oppervlakteafwerkingen zijn onder andere geslepen, gepolijst of een ESD-dissiperende coating (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
ST.CERA Aangepaste Bernoulli-eindeffector van aluminiumoxidekeramiek
Als toonaangevende fabrikant van keramische eindeffectoren/handlingarmen hebben we een onconventionele eindeffector/handlingarm ontwikkeld die inspeelt op de behoeften van die markt. Deze keramische eindeffector/handlingarm, gebaseerd op het principe van Bernoulli, kan de wafer laten zweven en transporteren door middel van luchtstroom met minimaal contact met de randen.
-
ST.CERA Aangepaste ESD keramische eindeffector
Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek langdurig worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.
-
ST.CERA Aangepaste grijper van aluminiumoxidekeramiek
Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek gedurende lange tijd worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.
-
ST.CERA Aangepaste aluminiumoxide keramische lade eindeffector
Dit is een keramische grijparm/handlingarm van het tray-type, die onder vacuümomstandigheden wordt gebruikt.
De keramische eindeffector/handlingarm is "hittebestendiger", "minder buigzaam" en "lichter" in gewicht in vergelijking met de metalen varianten.
-
ST.CERA Aangepaste vacuüm eindeffector van aluminiumoxidekeramiek
Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek gedurende lange tijd worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.
-
ST.CERA Aangepaste aluminiumoxide keramische eindeffector
ST.CERA biedt ESD-coating en ESD-keramisch materiaal voor eindeffectoren. Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud-isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan een maattolerantie van ±0,001 mm worden bereikt, een oppervlaktegladheid Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃.
-
ST.CERA Aangepaste vacuüm-eindeffector van aluminiumoxidekeramiek
Dit is een keramische grijparm/handlingarm van het tray-type, die onder vacuümomstandigheden wordt gebruikt.
De keramische eindeffector/handlingarm is "hittebestendiger", "minder buigzaam" en "lichter" in gewicht in vergelijking met de metalen varianten.
Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek gedurende lange tijd worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken.
-
ST.CERA Aangepaste aluminiumoxide keramische eindeffector waferhandling
ST.CERA biedt ESD-coating en ESD-keramisch materiaal voor eindeffectoren/handlingarmen met een ingebouwd hol kanaal. Wij zijn gespecialiseerd in een techniek waarbij een vacuüm luchtkanaal in één stuk materiaal wordt gevormd zonder gebruik te maken van lijm.
Er is geen risico op verontreiniging, ontgassing of deeltjes. De vacuüm-eindeffector/handlingarm van ST.CERA is voorzien van een speciale coatingtechnologie en is elektrisch geïsoleerd. We kunnen ook ESD-keramisch materiaal leveren dat elektrisch geïsoleerd is zonder coating.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken. -
Aluminiumoxide keramische eindeffector halfgeleiderapparatuurcomponenten
Voorkom dat er deeltjes ontstaan door de afgeschuinde of schuine randen en het achteroppervlak van de wafers tijdens het transport of contact met de eindeffector/handlingarm.
Voor de geleiders is een zacht materiaal gebruikt dat de wafer niet beschadigt.
Dankzij de ingebouwde vacuümkanaaltechnologie van ST.CERA, waarbij geen lijm wordt gebruikt, is verdunning mogelijk.
Het is mogelijk om montagegaten te maken en de lengte en breedte van de basis waarop de eindeffector/handlingarm op de robot is gemonteerd, aan te passen.
Montage van sensoren, schroeven en beugels is optioneel verkrijgbaar.
Ontworpen voor gebruik in atmosferische omstandigheden.
-
CNC-bewerking op maat van St.Cera keramische eindeffectoren
ST.CERA biedt een vacuümkeramische eindeffector/handlingarm met een ingebouwd hol kanaal. Wij zijn gespecialiseerd in een techniek waarbij een vacuümluchtkanaal in één stuk materiaal wordt gevormd zonder gebruik te maken van lijm.
Er is geen risico op verontreiniging, ontgassing of deeltjes. De vacuüm-eindeffector/handlingarm van ST.CERA met ingebouwd kanaal is duurzaam en kan bij hoge temperaturen worden gebruikt. Bovendien kunnen onze productiekosten worden verlaagd door onnodige assemblage te elimineren.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken.
-
Antistatische keramische eindeffector van aluminiumoxide
Dankzij eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek gedurende lange tijd worden gebruikt in diverse halfgeleiderproductieapparatuur onder omstandigheden met hoge temperaturen, vacuüm of corrosieve gassen.
Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door middel van koud isostatisch persen, sinteren bij hoge temperatuur en precisieafwerking, kan het een maattolerantie van ±0,001 mm, een oppervlaktegladheid van Ra 0,1 en een temperatuurbestendigheid van 1600℃ bereiken.
