Hoogzuivere aluminiumoxide keramische eindeffector voor wafer-handlingrobots
De eindeffector van St.Cera, vervaardigd uit 99,8% zuiver Al₂O₃, wordt met precisie gefreesd met behulp van geavanceerde 5-assige CNC-slijpmachines. Onze productiemogelijkheden omvatten precisieslijpmachines en CNC-bewerkingscentra, waardoor complexe geometrieën met hoge precisie kunnen worden gerealiseerd. De eindeffector heeft een dun profiel (zo dun als 1,5 mm) met een taps toelopende voorrand voor een soepele waferinvoer. Het materiaal biedt een hoge stijfheid (Youngs modulus 380 GPa), uitstekende slijtvastheid en thermische stabiliteit tot 800 °C. Elke eenheid wordt nauwkeurig geslepen om een vlakheid van 0,003 mm, een paralleliteit van 0,002 mm en een oppervlakteafwerking van Ra0,1 te bereiken, wat consistent wafercontact en een deeltjesvrije werking in halfgeleiderproductieomgevingen garandeert. Verkrijgbaar in lengtes van 150 mm tot 450 mm, met aangepaste tipgeometrieën (randgrip, Bernoulli, vlak) en montageflenzen voor OEM-robots. Mogelijke oppervlakteafwerkingen zijn onder andere geslepen, gepolijst of een ESD-dissiperende coating (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Specificaties (gebaseerd op 99,8% Al)₂O₃& St.Cera productiemogelijkheden):
| Eigendom | Waarde |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoor) |
| Dikte | 3,93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers-hardheid | 16 GPa |
| Youngs modulus | 380 GPa |
| Vlakheid | 0,003 mm |
| Parallelisme | 0,002 mm |
| Oppervlakteafwerking | Ra0.1 (geslepen/gepolijst) |
| Maximale bedrijfstemperatuur | 800°C |
| Lengtebereik | 150–450 mm |
Toepassingen:
- • Waferoverdracht in vacuüm- en atmosferische robots
- • FAB-automatiserings-eindeffectoren voor 200mm/300mm wafers
- • Hantering van dunne wafers (met ESD-optie)
Productiemogelijkheden:
Onze precisieslijpmachines en CNC-bewerkingscentra maken de productie mogelijk van complexe keramische componenten met:
- • Maximale bewerkingslengte: 1500 mm
- • Maximale buitendiameter: 600 mm
- • Minimale binnendiameter: 0,2 mm
- • Maximale dikte: 100 mm
Kwaliteitscontrole:
Rechtheid 0,005 mm, loodrechtheid 0,005 mm, rondheid 0,002 mm, parallelliteit 0,002 mm, concentriciteit 0,01 mm, geverifieerd met een CMM. Elk exemplaar wordt ultrasoon gereinigd en verpakt in een cleanroom van klasse 100.
