Aluminiumoxide vacuümspantang voor nauwkeurig snijden en slijpen
De vacuümhouder van St.Cera is vervaardigd uit 99,8% zuiver Al₂O₃ met nauwkeurig gefreesde vacuümgroeven. Dankzij onze precisieslijptechnologie bereiken we een vlakheid van 0,003 mm en een paralleliteit van 0,002 mm, waardoor een vervormingsvrije waferfixatie tijdens het snijden, het slijpen van de achterzijde en de inspectie gegarandeerd is. Het materiaal biedt een hoge buigsterkte (361 MPa), hardheid (16 GPa) en thermische stabiliteit tot 800 °C. Verkrijgbaar in ronde uitvoeringen met een buitendiameter (OD) tot 600 mm en rechthoekige vormen met een lengte tot 1500 mm. De vacuümgroeven worden op maat ontworpen (concentrisch, radiaal of rasterpatroon) om aan specifieke procesvereisten te voldoen. Elke houder wordt geïnspecteerd met een laserinterferometer en geleverd met een vlakheidsverificatierapport.
Specificaties (gebaseerd op 99,8% Al)₂O₃& St.Cera productiemogelijkheden):
| Eigendom | Waarde |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoor) |
| Dikte | 3,93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers-hardheid | 16 GPa |
| Buitendiameter (max.) | 600 mm |
| Dikte (max.) | 100 mm |
| Lengte (max) | 1500 mm |
| Vlakheid | 0,003 mm |
| Parallelisme | 0,002 mm |
| Oppervlakteafwerking | Ra0.1 |
| Maximale bedrijfstemperatuur | 800°C |
Toepassingen:
- • Wafers snijden en markeren (200 mm/300 mm en groter)
- • Achterzijde slijpen van dunne wafers
- • Optische inspectie en sondering
- • Verwerking van grote substraten
Productieprecisie:
- • Rechtheid: 0,005 mm
- • Loodrechtheid: 0,005 mm
- • Rondheid: 0,002 mm
- • Concentriciteit: 0,01 mm
