Teflon-gecoate keramische eindeffector – Antiaanbaklaag voor het hanteren van gevoelige wafers
De met Teflon (PTFE) gecoate keramische eindeffector van St.Cera combineert een zeer sterk aluminiumoxide substraat met een uniforme, wrijvingsarme PTFE-coating (dikte 15–30 μm). De coating zorgt voor een extreem lage wrijvingscoëfficiënt (≤0,1), uitstekende chemische bestendigheid en antikleefeigenschappen, waardoor waferaanhechting wordt voorkomen en verontreiniging aan de achterzijde wordt geëlimineerd. Het onderliggende keramische substraat (99,8% Al₂O₃) biedt een hoge buigsterkte (361–1000 MPa), slijtvastheid en thermische stabiliteit tot 260 °C (coatinglimiet). Deze eindeffector is ideaal voor het hanteren van delicate, dunne of kleverige wafers (bijvoorbeeld na het aanbrengen van fotolak of chemische processen).
Specificaties (gebaseerd op een substraat van 99,8% Al₂O₃ met PTFE-coating):
| Eigendom | Waarde |
| Substraatmateriaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoor) |
| Coatingmateriaal | PTFE (Teflon) |
| Laagdikte | 15–30 μm |
| Wrijvingscoëfficiënt (gecoat) | ≤0,1 |
| Buigsterkte van het substraat (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Substraathardheid (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substraatdichtheid | 3,93 g/cm³ |
| Maximale bedrijfstemperatuur (coatinglimiet) | 260°C |
| Oppervlakteruwheid (vóór het aanbrengen van de coating) | Ra ≤0,4 μm |
| Diëlektrische sterkte (substraat) | 15×10⁶ V/m |
Let op: de PTFE-coating beperkt de maximale temperatuur tot 260 °C; voor toepassingen bij hogere temperaturen kunt u overwegen om ongecoat keramiek of andere coatings te gebruiken.
Toepassingen:
- • Hanteren van wafers na het aanbrengen van de fotolak (kleverige oppervlakken)
- • Overdracht van dunne of fragiele wafers (voorkomt plakken)
- • Inspectie- en meetinstrumenten voor halfgeleiders
- • Automatisering van cleanrooms waar deeltjesverontreiniging tot een minimum moet worden beperkt
Productieproces:
Keramisch substraat gesinterd en nauwkeurig geslepen → oppervlaktebehandeling (plasma-etsen of gritstralen) → PTFE-spuitcoating → uitharding bij 380 °C → eindinspectie. Elk eindeffector wordt gecontroleerd op coatingdikte (wervelstroommeting), hechting (kruisproef ASTM D3359) en wrijvingscoëfficiënt.
Kwaliteitscontrole:
100% visuele inspectie op gaatjes of luchtbellen; uniformiteit van de coatingdikte binnen ±5 μm; geen delaminatie na een buigproef van 90° op een referentiemonster. Maatcontrole volgens OEM-tolerantie (lengte ±0,05 mm, vlakheid ≤0,1 mm).
Voordelen ten opzichte van onbehandelde of andere coatings:
- • Antiaanbaklaag voorkomt dat wafers vastkleven en breken.
- • Laagste wrijvingscoëfficiënt onder keramische coatings
- • Uitstekende chemische bestendigheid (tegen zuren, basen en oplosmiddelen)
- • Vermindert de deeltjesvorming door materiaaloverdracht te voorkomen
Beperkingen (opmerkingen over materiaalafwijkingen):
De PTFE-coating is niet afgeleid van de meegeleverde materiaaleigenschappen (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). De eigenschappen van het substraat volgen strikt het meegeleverde gegevensblad (99,8% Al₂O₃). De eigenschappen van de coating zijn gebaseerd op de industriestandaard PTFE-specificaties, aangezien er geen coatinggegevens zijn verstrekt. Voor toepassingen boven 260 °C wordt een ongecoate keramische eindeffector aanbevolen.*
Aanpassing:
Verkrijgbaar in lengtes van 150–1500 mm, met verschillende puntvormen (randgrip, Bernoulli, plat) en montageflenspatronen volgens OEM-tekening. Optioneel gedeeltelijke coating (alleen contactvlakken) of volledige dekking.
Vraag een monster aan voor hechtings- en wrijvingstests.
