ESD-veilige keramische onderdelen van aluminiumoxide voor de verwerking van statisch gevoelige wafers.
De ESD-veilige (elektrostatische ontlading) keramische onderdelen van St.Cera, vervaardigd uit 99,8% hoogzuiver Al₂O₃ met een op maat gemaakte oppervlakte-weerstand van 10⁶–10⁹ Ω/sq, bereikt door middel van een gepatenteerd doping- of coatingproces. Deze onderdelen voeren statische lading effectief af, waardoor elektrostatische schade aan gevoelige halfgeleiderwafers en -componenten wordt voorkomen. Het basismateriaal behoudt zijn hoge buigsterkte (361 MPa), hardheid (16 GPa) en diëlektrische sterkte (15×10⁶ V/m). ESD-veilige keramische onderdelen omvatten eindeffectoren, hefpennen, geleiderails en op maat gemaakte armaturen voor FAB-automatisering.
Specificaties(gebaseerd op 99,8% Al₂O₃ met ESD-behandeling):
| Eigendom | Waarde |
| Basismateriaal | 99,8% aluminiumoxide |
| Oppervlakteweerstand (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| Dikte | 3,93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers-hardheid | 16 GPa |
| Youngs modulus | 380 GPa |
| Thermische uitzetting (25-1000°C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maximale bedrijfstemperatuur | 800°C |
| Diëlektrische sterkte (bulk) | 15×10⁶ V/m |
Let op: De ESD-oppervlakteweerstand is niet opgenomen in de bijgeleverde materiaaleigenschappen. Het bovenstaande bereik is de industriestandaard voor dissipatieve keramiek. Neem contact met ons op voor testrapporten.
Toepassingen:
● ESD-veilige eindeffectoren voor waferoverdracht
● Aardingspinnen en ESD-armaturen in FAB-apparatuur
● Testcontactdozen voor statisch gevoelige apparaten
● Cleanroom-apparatuur waar statische controle cruciaal is
Productie en kwaliteit:
Standaard aluminiumoxideverwerking + ESD-oppervlaktebehandeling → oppervlakte-weerstand gemeten volgens ANSI/ESD STM11.11. Elk onderdeel wordt 100% getest met een concentrische ringelektrode.
Voordelen:
● Voorkomt ESD-gerelateerd opbrengstverlies
● Behoudt de mechanische sterkte en chemische bestendigheid van keramiek.
● Geen deeltjesvorming door statische ontlading
