Aluminiumoxide keramische eindeffector met geïntegreerde vacuümkanalen
De vacuüm-eindeffector van St.Cera, vervaardigd uit aluminiumoxide, integreert nauwkeurig bewerkte vacuümkanalen en zuiggaten direct in de behuizing van 99,8% zuiver aluminiumoxide. Dit ontwerp elimineert externe vacuümpads, waardoor wafers direct kunnen worden opgepakt met een uniforme houdkracht. De hoge buigsterkte (361 MPa) en hardheid (16 GPa) van het materiaal garanderen dimensionale stabiliteit op lange termijn, zelfs bij herhaalde vacuümcycli. De vlakheid van het padoppervlak blijft binnen 10 μm, waardoor waferspanning en -breuk worden voorkomen. Vacuümpoorten bevinden zich aan de achterzijde van de montageflens voor eenvoudige integratie met OEM-robotarmen.
Specificaties(gebaseerd op 99,8% Al₂O₃):
| Eigendom | Waarde |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoor) |
| Dikte | 3,93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers-hardheid | 16 GPa |
| Youngs modulus | 380 GPa |
| Thermische uitzetting | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Vlakheid van het kussen | ≤10 μm |
| Vacuümkanaalbreedte | 0,5–2,0 mm |
| Maximale bedrijfstemperatuur | 800°C |
Toepassingen:
● Vacuümzuiging van dunne of vervormde wafers
● Directe waferverwerking zonder randgrijpen
● Overdracht van zonnecellen en LED-substraten
Productie:
Gesinterd aluminiumoxide werkstuk → 5-assig CNC-boren van vacuümkanalen en gaten → oppervlakteslijpen → ultrasoon reinigen → heliumlektest. Elke effector wordt 100% getest op vacuümuniformiteit.
Voordelen:
● Geen externe stofzuigerpads (vermindert de hoeveelheid deeltjes)
● Gelijkmatige houddruk voorkomt wafermarkering
● Chemisch inert en geschikt voor cleanrooms
