Hoogzuivere aluminiumoxide keramische afdichtingsring voor het afdichten van hogetemperatuurkamers
De keramische afdichtingsring van St.Cera is ontworpen als alternatief voor polymere O-ringen in extreme omstandigheden waar elastomeren degraderen. Deze stijve afdichtingsring, vervaardigd uit 99,8% zuiver aluminiumoxide (Al₂O₃), wordt gebruikt in statische afdichtingstoepassingen – doorgaans in combinatie met een zachte metalen of grafietpakking – om betrouwbare vacuüm- of gasafdichting te garanderen bij temperaturen tot 800 °C en in agressieve plasma- of chemische omgevingen. Het materiaal biedt geen ontgassing, een hoge druksterkte (onderliggende buigsterkte 361 MPa) en chemische inertheid (bestand tegen halogenen, zuren en basen, met uitzondering van HF). Nauwkeurig geslepen afdichtingsoppervlakken (vlakheid ≤ 5 μm, oppervlakteruwheid Ra ≤ 0,2 μm) zorgen voor een lekvrij contact met de bijbehorende metalen of keramische componenten.
Specificaties(gebaseerd op 99,8% Al)₂O₃):
| Eigendom | Waarde |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoor) |
| Dikte | 3,93 g/cm³ |
| Waterabsorptie | 0% |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Druksterkte (geschat) | >2000 MPa |
| Vickers-hardheid | 16 GPa |
| Thermische uitzetting (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maximale bedrijfstemperatuur | 800°C (lucht), 1600°C (inert gas) |
| Oppervlakteafwerking (afdichtingsvlak) | Ra ≤0,2 μm (geslepen) |
| Vlakheid (per 25 mm) | ≤5 μm |
| Heliumlekpercentage | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (met geschikte pakking) |
Toepassingen:
- • Statische afdichtingen voor halfgeleiderproceskamers (CVD, PVD, etsen)
- • Hittebestendige ovendeurafdichtingen
- • Vacuümdoorvoerflenzen
- • Afsluitingen van chemische reactorvaten
Productieproces:
Isostatisch persen → sinteren bij 1600 °C → nauwkeurig dubbelzijdig lappen voor ultragladde afdichtingsvlakken → afschuinen van de randen → ultrasoon reinigen. Elke ring wordt 100% op lekdichtheid getest met een heliumlekdetector en een standaard metalen pakking.
Kwaliteitscontrole:
- • Maatcontrole met CMM (binnendiameter, buitendiameter, dikte, paralleliteit)
- • Oppervlakteprofilometer voor Ra-waarde en golving
- • Vlakheidsmeting met behulp van een optisch vlak
- • Heliumlektest (tegendrukmethode)
Voordelen ten opzichte van polymeer O-ringen:
- · Bestand tegen 800°C vs. <300°C voor FFKM
- • Geen ontgassing — geen verontreiniging van de vacuümomgeving
- • Bestand tegen alle plasmachemische stoffen (fluor, chloor, zuurstof)
- • Geen compressievervorming of permanente vervorming
- • Onbeperkte levensduur in schone omgevingen
Beperkingen (kritische opmerkingen):
- · Geen O-ring— het is een stijve keramische ring die een zachte pakking (koper, aluminium of grafiet) nodig heeft om af te dichten.
- • Niet geschikt voor dynamische bewegingen of grote uitlijningsafwijkingen van de flens.
- • Hogere aanschafkosten dan polymere O-ringen, maar langere levensduur verlaagt de totale eigendomskosten.
- • Broos – voorzichtig behandelen; puntstoten of buigspanning vermijden.
Opmerking:De bovenstaande gegevens volgen strikt de meegeleverde Al₂O₃-eigenschappenstabel. Er zijn geen gegevens voor elastomere materialen verstrekt. Dit product is een statische afdichtingsring, geen elastomere O-ring. Bevestig alstublieft of dit aan uw toepassingsvereisten voldoet.
