Standaard vacuümspantang op basis van aluminiumoxide – hoge stijfheid voor precisiebewerking
Deze vacuümhouder op basis van aluminiumoxide is vervaardigd uit 99,8% Al₂O₃ en biedt een glad, niet-poreus oppervlak met op maat gemaakte vacuümgroeven. Hij biedt uitzonderlijke stijfheid (Youngs modulus 380 GPa) en vlakheid (≤3 μm), waardoor hij ideaal is voor precisieslijpen, lappen en snijden van halfgeleiderwafers en optische componenten. De hoge thermische geleidbaarheid van het materiaal (32 W/m·k) zorgt voor een uniforme temperatuur tijdens de bewerking.
Specificaties(gebaseerd op 99,8% Al)₂O₃):
| Eigendom | Waarde |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoor) |
| Dikte | 3,93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers-hardheid | 16 GPa |
| Youngs modulus | 380 GPa |
| Thermische geleidbaarheid | 32 W/m·k |
| Vlakheid | ≤3 μm (meer dan 200 mm) |
| Oppervlakteruwheid (spankopzijde) | Ra ≤0,4 μm |
| Maximale bedrijfstemperatuur | 800°C |
Toepassingen:
- • Slijpen van de achterzijde van de wafer (grof en fijn)
- • Nauwkeurig snijden van breekbare materialen
- • Het slijpen van keramische substraten
- • Polijsten van optische lenzen
Productie:
Precisieslijpen van beide zijden → diamantgroeven (optioneel) → afronding van de randen → ultrasoon reinigen → 100% vlakheidscontrole met laserinterferometer.
Avoordelen:
- • De stevige ondersteuning minimaliseert doorbuiging onder belasting
- • Geen deeltjesvorming vanuit de poreuze structuur
- • Gemakkelijk schoon te maken (geschikt voor reiniging met oplosmiddelen)
- • Vacuümgroeven aanpasbaar (concentrisch, radiaal, aangepaste patronen)
Beschikbare maten:
Rond: 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm; vierkant/rechthoekig op aanvraag.
We bieden ook varianten op metaalbasis aan voor een hogere mechanische sterkte.
