Siliciumcarbide (SiC) keramische eindeffector – hoge stijfheid voor het hanteren van wafers bij hoge temperaturen
De SiC-keramische eindeffector van St.Cera is vervaardigd uit zeer zuiver siliciumcarbide (SiC-gehalte 99,72%, vrij Si 0,05%) met behulp van het S1111-batchmateriaal. Het biedt uitzonderlijke mechanische eigenschappen: buigsterkte 449 MPa (gemeten), elasticiteitsmodulus 457 GPa (gemeten) en Vickers-hardheid 25–28 GPa (typisch). De lage dichtheid (3,10–3,15 g/cm³, typisch) zorgt voor een hoge specifieke stijfheid, ideaal voor snelle wafer-transferrobots. Met een thermische geleidbaarheid van 120–150 W/m·K (typisch) en een thermische uitzettingscoëfficiënt van 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (typisch) voert deze eindeffector warmte effectief af en behoudt hij zijn vormvastheid tijdens handling bij hoge temperaturen (tot 1600–1700 °C, onbelast). De zwart/grijze kleur en de afwezigheid van waterabsorptie garanderen compatibiliteit met cleanrooms.
Specificaties(gebaseerd op het meegeleverde SiC S1111-testrapport en typische waarden)):
| Eigendom | Waarde |
| Materiaal | SiC (99,72% SiC, 0,05% vrij Si) |
| Kleur | Zwart/Grijs |
| Dikte | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Waterabsorptie | 0% |
| Buigsterkte | 449 MPa (gemiddeld) |
| Breuktaaiheid | 3,12 MPa·m¹/² (gemiddeld) |
| Elasticiteitsmodulus | 457 GPa |
| Vickers-hardheid | 25–28 GPa |
| Thermische geleidbaarheid (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Maximale gebruikstemperatuur (zonder belasting) | 1600–1700 °C |
Toepassingen:
● Waferverwerking bij hoge temperaturen (nabewerking, RTP, epitaxie)
● Plasma-etskamers die een hoge erosiebestendigheid vereisen
● Hogesnelheidstransportrobots (lichtgewicht, hoge stijfheid)
Productie:
Sinteren van SiC-poeder → precisie-CNC-slijpen van armprofiel en bevestigingspunten → oppervlaktepolijsten → ultrasoon reinigen. 100% dimensionale inspectie en heliumlektest voor vacuümtoepassingen.
Kwaliteitscontrole:
● CMM-inspectie van lengte, breedte en vlakheid
● Buigsterktetest per batch (conform testrapportnorm)
● Visuele inspectie onder de microscoop op oppervlaktedefecten
Voordelen ten opzichte van aluminiumoxide of metaal:
● 2× hogere elasticiteitsmodulus (457 versus ~380 GPa voor aluminiumoxide) – minder doorbuiging
● 3x hogere thermische geleidbaarheid – snellere warmteafvoer
● Bestand tegen temperaturen boven 1600 °C, vergeleken met 800 °C voor aluminiumoxide in lucht.
● Lagere dichtheid dan staal – 40% gewichtsvermindering
Aanpassing:
Lengtes 150–450 mm, puntvormen (randgreep, Bernoulli, plat), montageflenspatronen volgens OEM-tekening.
*Alle bovenstaande mechanische gegevens zijn afkomstig uit het bijgeleverde testrapport (batch S1111). De thermische en hardheidswaarden zijn typisch voor deze SiC-kwaliteit; neem contact met ons op voor een batchspecifieke certificering.*
