Grootformaat keramische aluminiumoxideplaat voor halfgeleider- en industriële toepassingen
St.Cera produceert keramische platen van groot formaat, vervaardigd uit 99,8% zuiver aluminiumoxide (Al₂O₃), met maximale afmetingen tot 1500 mm lengte en 600 mm breedte. Dankzij onze precisieslijptechnieken bereiken we een vlakheid van 0,003 mm over een lengte van 100 mm en een paralleliteit van 0,002 mm, wat een consistente oppervlaktekwaliteit garandeert voor toepassingen op grote oppervlakken. Dikte tot 100 mm, oppervlakteafwerking tot Ra0,1. Deze platen worden gebruikt als vacuümspanplaten, verwarmingsplaten, elektrische isolatiepanelen en proceskamerbodems in de halfgeleider-, display- en fotovoltaïsche industrie. Doorvoergaten, verzonken gaten en randprofilering zijn mogelijk.
Specificaties (gebaseerd op 99,8% Al)₂O₃& St.Cera productiemogelijkheden):
| Eigendom | Waarde |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoor) |
| Dikte | 3,93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers-hardheid | 16 GPa |
| Diëlektrische sterkte | 15×10⁶ V/m |
| Maximale lengte | 1500 mm |
| Maximale breedte | 600 mm |
| Maximale dikte | 100 mm |
| Vlakheid (per 100 mm) | 0,003 mm |
| Parallelisme | 0,002 mm |
| Oppervlakteafwerking | Ra0.1 (geslepen/gepolijst) |
| Maximale bedrijfstemperatuur | 1600°C |
Toepassingen:
- • Vacuümspanplaten voor grote wafers en panelen
- • Verwarmingsplaten voor thermische verwerkingsapparatuur
- • Elektrische isolatiepanelen in hoogspanningssystemen
- • Bodemplaten en bekledingsplaten van de proceskamer
Productieprecisie:
Rechtheid: 0,005 mm, loodrechtheid: 0,005 mm, geverifieerd met laserinterferometer.
Voordelen ten opzichte van metalen platen:
- • Geen metaalverontreiniging – cruciaal voor halfgeleiderprocessen
- • Geen ontgassing – ideaal voor vacuümomgevingen
- • Uitstekende slijt- en chemische bestendigheid
Aanpassing:
Aangepaste gatenpatronen, randprofielen, getrapte oppervlakken en gemetalliseerde montagegebieden zijn beschikbaar.
