12-inch vacuümhouder van aluminiumoxide voor de verwerking van 300 mm wafers
De 12-inch vacuümhouder van St.Cera is met precisie vervaardigd uit 99,8% zuiver aluminiumoxide (Al₂O₃) voor het hanteren van wafers met een diameter van 300 mm. De houder heeft een fijn gegroefd oppervlak (groefbreedte 0,5–1,0 mm, spoed 2–3 mm) om een uniforme vacuümverdeling over de gehele diameter van 300 mm te garanderen. De vlakheid blijft binnen 5 μm, waardoor de wafer tijdens het snijden, het slijpen van de achterzijde en de inspectie kromgetrokken kan worden. De hoge buigsterkte (361 MPa) en hardheid (16 GPa) van het materiaal garanderen dimensionale stabiliteit op lange termijn, zelfs bij herhaalde vacuümcycli.
Specificaties (gebaseerd op 99,8% Al₂O₃):
| Eigendom | Waarde |
| Diameter | 300 mm (12 inch) |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoor) |
| Dikte | 3,93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers-hardheid | 16 GPa |
| Vlakheid (meer dan 300 mm) | ≤5 μm |
| Groefbreedte | 0,5–1,0 mm |
| Maximale bedrijfstemperatuur | 800°C |
| Diëlektrische sterkte | 15×10⁶ V/m |
Toepassingen:
300mm wafer dicing en scribing
Slijpen van de achterzijde van de wafer (dunne waferondersteuning)
Optische inspectie en sondering
Tijdelijke bevestigings-/losmaakspankoppen
Productie:
CNC-geslepen en gelapt tot de uiteindelijke vlakheid, gegroefd met diamantslijpschijven, ultrasoon gereinigd en verpakt in een cleanroom van klasse 100. Elke spankop wordt 100% gecontroleerd op vlakheid (laserinterferometer) en groefdiepte (profilometer).
Voordelen:
Lage deeltjesproductie (≤0,05 deeltjes/cm²)
Chemisch inert ten opzichte van oplosmiddelen en zuren
ESD-veilige oppervlakte (weerstand >10¹³ Ω·cm)
Aangepaste vacuümgatenpatronen en aansluitingen aan de achterzijde zijn beschikbaar.
