pagina_banner

ST.CERA Aangepaste keramische laderarm van 99,5% aluminiumoxide

ST.CERA Aangepaste keramische laderarm van 99,5% aluminiumoxide

Korte beschrijving:

Keramische eindeffector / handlingarm wordt geïnstalleerd op waferhandlingrobot of “endeffectors” en wordt gebruikt om siliciumwafels in of uit cassettes of proceskamers te brengen.
De voordelen van het gebruik van keramiek zijn vermindering van doorbuiging als gevolg van de hoge buigsterkte, weerstand tegen hoge temperaturen en eliminatie van metaalverontreiniging en deeltjes.


Product detail

Productlabels

Productdetails

Met kenmerken van hoge temperatuurbestendigheid, corrosieweerstand, slijtvastheid en isolatie, kan keramiek lange tijd werken in vele soorten halfgeleiderproductieapparatuur met hoge temperaturen, vacuüm of corrosief gas.

Gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxidepoeder, verwerkt door koud isostatisch persen, sinteren op hoge temperatuur en precisieafwerking, kan de keramische End Effector de maattolerantie bereiken tot ± 0,001 mm, oppervlakteafwerking Ra 0,1, temperatuurbestendigheid 1600 ℃.

De keramische End Effector met holte kan werken bij een hoge temperatuur van 800℃ dankzij de unieke keramische verbindingstechnologie.

Hier zijn de kenmerken van aluminiumoxide-keramiek met verschillende zuiverheid.

productparameters

logo

ST.CERA CO., LTD.

Materiaalgegevensblad

Eigenschappen Eenheid Aluminiumoxide (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Kleur Wit ivoor ivoor ivoor
Dikte g/cm3 3,88 3,90 3,93 3,95
Waterabsorptie % 0 0 0 0
Korrelgrootte urn 2~5 2~5 2~5 2~4
Buigsterkte MPa 350 360 361 350
Breuktaaiheid MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Vickers-hardheid GPa 14 15.5 16 16
Young's elastische modulus GPa 370 370 380 390
Warmtegeleiding W/m·k 28 32 32 34
Thermische expansiecoëfficiënt 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Diëlektrische constante 9.5 9.6 9.6 9.9
Diëlektrische verlieshoek 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Diëlektrische sterkte V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Specifieke weerstand Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Productieproces

Spuitgranulatie → keramisch poeder → Vormen → Blank Sinteren → Ruw slijpen → CNC-bewerking → Fijn slijpen → Afmetingsinspectie → Reinigen Verpakking

Essentiële details

Plaats van herkomst: Hunan, China
Materiaal: aluminiumoxide keramiek
HS-code: 85471000
Leveringscapaciteit: 100 stuks per maand
Levertijd: 3-4 weken
Pakket: golfkartonnen doos, schuim, karton
Anderen: Maatwerkservice beschikbaar


  • Vorig:
  • Volgende: