Robotarm van zeer zuiver aluminiumoxidekeramiek voor het hanteren van wafers
De robotarm van St.Cera, vervaardigd uit 99,8% zuiver aluminiumoxide (Al₂O₃), combineert een uitzonderlijke buigsterkte (361 MPa), hoge hardheid (16 GPa) en lage dichtheid (3,93 g/cm³), wat resulteert in een lichtgewicht maar toch stijve arm voor het transporteren van halfgeleiderwafers. De thermische uitzettingscoëfficiënt van het materiaal (7,2 × 10⁻⁶/°C) komt nauw overeen met die van silicium, waardoor thermische mismatch tijdens de verwerking tot een minimum wordt beperkt.
Specificaties (gebaseerd op 99,8% Al₂O₃):
| Eigendom | Waarde |
| Kleur | Ivoor |
| Dikte | 3,93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers-hardheid | 16 GPa |
| Youngs modulus | 380 GPa |
| Thermische geleidbaarheid | 32 W/m·k |
| Thermische uitzetting | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Diëlektrische sterkte | 15×10⁶ V/m |
Toepassingen:
- Vacuüm wafertransferrobots (200 mm/300 mm)
- Atmosferische behandelingssystemen
- Eindeffectoren voor FAB-automatisering
Productieproces:
Isostatisch persen → groene bewerking → sinteren bij 1600 °C → CNC-precisieslijpen → ultrasoon reinigen → verpakking in een cleanroom van klasse 100. Elke arm wordt 100% gecontroleerd met een CMM op vlakheid (±0,01 mm) en oppervlakteruwheid (Ra ≤0,4 μm).
Kwaliteitscontrole:
St.Cera is ISO 9001:2015 gecertificeerd. Wij voeren kleurstofpenetratieproeven uit voor het opsporen van microscheurtjes, driepuntsbuigproeven voor het bepalen van de buigsterkte en diëlektrische sterkteproeven volgens ASTM D149.
Voordelen ten opzichte van metalen armen:
- 50% lichter dan roestvrij staal
- Geen galvanische corrosie
- Lagere deeltjesproductie (≤0,05 deeltjes/cm²)
- ESD-veilige coating beschikbaar (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Aanpassing:
Lengtes van 150 mm tot 450 mm, tipvormen (randgrip, Bernoulli, vacuüm) en montageflenspatronen volgens OEM-tekeningen. Prototypes binnen 2 weken.
Voor grote bestellingen kunt u een offerte aanvragen.
