Aluminiumoxide PVD-isolatiering voor systemen voor fysische dampafzetting.
De PVD-isolatiering van St.Cera is vervaardigd uit 99,8% zuiver aluminiumoxide (Al₂O₃) voor gebruik in PVD-systemen (Physical Vapor Deposition). De ring zorgt voor elektrische isolatie tussen de componenten in de kamer, waardoor vonkvorming wordt voorkomen en een stabiele plasmawerking wordt gegarandeerd. Belangrijke eigenschappen zijn een hoge diëlektrische sterkte (15 × 10⁶ V/m), een soortelijke weerstand van >10¹⁴ Ω·mm²/m en een thermische stabiliteit tot 1600 °C. Dankzij onze precisiebewerking kunnen we buitendiameters tot 600 mm, binnendiameters tot 0,2 mm, een vlakheid van 0,003 mm en een oppervlakteafwerking van Ra0,1 realiseren. De nulporositeit en chemische inertheid van de ring garanderen een langdurige betrouwbaarheid in agressieve sputteromgevingen.
Specificaties (gebaseerd op 99,8% Al)₂O₃& St.Cera productiemogelijkheden):
| Eigendom | Waarde |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoor) |
| Dikte | 3,93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers-hardheid | 16 GPa |
| Diëlektrische sterkte | 15×10⁶ V/m |
| Specifieke weerstand | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maximale buitendiameter | 600 mm |
| Minimale binnendiameter | 0,2 mm |
| Maximale dikte | 100 mm |
| Vlakheid | 0,003 mm |
| Parallelisme | 0,002 mm |
| Oppervlakteafwerking | Ra0.1 |
| Maximale bedrijfstemperatuur | 1600°C |
Toepassingen:
- • Doelwit achterplaatisolatoren in PVD-systemen
- • Doorvoerisolatoren voor kamers
- • Afschermringisolatoren in sputteringssystemen
- • Hoogspanningsisolatie in plasmakamers
Productieprecisie:
Concentriciteit: 0,01 mm, rondheid: 0,002 mm, rechtheid: 0,005 mm, loodrechtheid: 0,005 mm, geverifieerd met CMM.
Avoordelen ten opzichte van polymeerisolatoren:
- • Bestand tegen 1600 °C, in tegenstelling tot de limiet van polymeren van <300 °C.
- • Geen ontgassing – behoudt de vacuümintegriteit
- • Bestand tegen plasma-erosie en chemische aanvallen
Aanpassing:
Aangepaste dwarsdoorsneden, montagemogelijkheden, trapvormige profielen en diverse concentrische ringontwerpen zijn beschikbaar.
